Semiconductor Lösungen
für Halbleiterfertigung

Engineering Excellence für Semiconductor Manufacturing

Halbleiterindustrie Image von Hans E. Winkelmann GmbH

Subsysteme für die Halbleiterindustrie

Skalierbare Fluidik-Infrastruktur & intelligente Steuerungslösungen für die Chip-Produktion

In einer Industrie, in der Nanometer über den Erfolg entscheiden, ist die präzise Automatisierung von Medienflüssen der entscheidende Wettbewerbsvorteil. WINKELMANN vereint jahrzehntelange Erfahrung im Maschinenbau mit den extremen Reinheitsanforderungen der Semiconductor-Branche. Wir gestalten Ihren Gesamtprozess intelligent mit.

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Unsere technologischen Kernkompetenzen

Wafer- & Prozesstechnik
Über die Standardsteuerung hinaus bieten wir voll integrierte Ventilinseln aus Hochleistungskunststoffen. Diese sind speziell für die automatisierte Handhabung hochkorrosiver Medien (HF/HCl) optimiert – langlebig, sicher und wartungsarm.
Vakuum- & Beschichtungstechnik
Unsere Automatisierungslösungen für ALD- und PECVD-Anlagen garantieren eine vibrationsfreie Medienzufuhr. Dies ist essenziell
für die Partikelfreiheit und eine reproduzierbare Beschichtungsqualität
im Ultrahochvakuum (UHV).
Thermomanagement & Kühlung
Ergänzen Sie Ihre Anlage um unsere (autarken) Kühleinheiten.
Die DiWa-Serie regelt Kühlungsströme vollautomatisch und sorgt
für die thermische Stabilität, die für moderne Belichtungsprozesse unerlässlich ist.

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PLUG-AND-WORK-SYSTEMS

Unsere Systeme sind nach Auslieferung unmittelbar einsatzbereit. Das bedeutet: Kürzere Montage und Inbetriebnahme für die Gesamtanlage.

SIMPLIER MANUFACTURING

Durch die Bündelung von Funktionen in einem Modul reduzieren wir die Anzahl Ihrer Schnittstellen – das minimiert das Risiko und den Planungsaufwand.

+11 YEARS EXPERT IN SEMICONDUCTOR

Unsere Systeme sind nach Auslieferung unmittelbar einsatzbereit. Das bedeutet: Kürzere Montage und Inbetriebnahme für die Gesamtanlage.

Plug-and-Work Architektur

Reduzierte Komplexität

Inhouse-Engineering

In der hochautomatisierten Welt der Halbleiterfertigung ist die nahtlose Integration von Subsystemen der Schlüssel zur Skalierbarkeit. Wir bieten nicht nur Komponenten, sondern intelligente Automatisierungssysteme, die speziell darauf ausgelegt sind, die Komplexität Ihrer Anlagensteuerung zu reduzieren. Durch unsere modulare Bauweise verkürzen wir Ihre Entwicklungszyklen und garantieren eine Serienreife ab dem ersten Tag.

Cases & Referenzen

High-Performance Lösungen für Semiconductor-Produktion

Intelligentes Thermomanagement (DIWA-Serie)

Temperaturstabilität sichert Prozessqualität. Unsere DIWA-Kühlsysteme sind die Antwort auf komplexe thermische Anforderungen in der Halbleiterfertigung.

Präzise Temperierung
Anschlussfertige Kühleinheiten für die konstante Kühlung von Prozessmodulen und Subsystemen.

Dauerbetrieb-Sicherheit
Ausgelegt für einen stabilen 24/7-Betrieb unter industriellen Extrembedingungen.

Modulare Skalierbarkeit
Einfache Integration in bestehende Chillersysteme und Anlagenrahmen durch kompakte Bauformen

Lösungen für die Medienverteilung

Sie haben einen speziellen Bedarf für Ihren Halbleiterprozess?

Benötigen Sie eine spezielle Baugruppenlösung für Ihre Anlage? Unsere Experten unterstützen Sie bei der Auslegung und Optimierung Ihres Prozesses.